LPCVD懸臂舟陶瓷真空吸盤主要用於半導體光電產業中薄膜的製備。如擴散上下料機，懸臂舟是擴散上下料機中的關鍵部件，主要用於擴散前後的矽片裝卸。
採用精密耐磨耐高溫陶瓷結構的懸臂舟或稱裝卸片機械手通常由50片真空吸盤組成，一次可裝卸50片矽片。陶瓷結構的懸臂舟有著不變形、無污染、易維護的優點。懸臂舟依靠真空吸盤的吸力和矽片自身重量採用軟著陸的方式裝卸矽片，可大幅降低碎片率和對載具的精度要求。真空吸盤單晶片誤差可控制在0.005mm以內，50片疊加誤差不超過0.2mm。
LPCVD石英舟，擴散石英舟，氧化鋯承載舟主要用於半導體光伏產業中薄膜的製備。在LPCVD（低壓化學氣相澱積）製程中石英舟是矽片在反應室中的載具。
明睿陶瓷生產的陶瓷石英舟托齒和吸盤採用精密耐磨耐高溫的氧化鋯陶瓷材料，目前主要分為4.76、2.38兩種齒距。壽命更長。
